對于三坐標測量機的光柵計數(shù)系統(tǒng)，多數(shù)廠家采用的是兩種結(jié)構(gòu)。一種是直接將光柵尺粘貼在三個軸的導(dǎo)軌材料上。另一種是采用光柵尺基座，將基座粘貼在三個軸的導(dǎo)軌上，再將光柵尺裝人光柵尺的基座中。
對于直接將光柵尺粘貼在導(dǎo)軌上的三坐標來說，溫度對其的影響要考慮兩方面的因素：一是導(dǎo)軌材料受溫度的影響，二是光柵尺本身的變化。此時，如果使用溫度補償功能的話，要在導(dǎo)軌材料和光棚尺兩種材料的線性膨脹中選擇一個合適的值來確定。
對于使用光柵尺基座的計數(shù)系統(tǒng)來說，一種是兩端預(yù)緊的，一種是一段固定的。對于兩端預(yù)緊的系統(tǒng)來說，仍然要考慮導(dǎo)軌材料和光柵尺兩種材料的熱膨脹。對于一段固定的，可以只考慮光柵尺本身的線性膨脹。